产品功能：

◆采用步进马达，速度快、定位准确

◆设有多段高效过滤器，保证环境洁净

◆设有防静电功能，能吸附0—500mm距离

◆人机界面，PLC自动控制系统，自动输送系统

◆DI水清洗、真空清洗、离心及真空干燥等组合式工艺

◆各负载保护功能，一星期工作预设定